TRUMPF macht Halbleiterfertigung effizienter und präziser

TRUMPF sorgt für mehr Präzision und Effizienz in der Halbleiterfertigung. Dafür hat das Hochtechnologieunternehmen mit der TruPlasma RF Series G3 eine neue Generation seiner Hochfrequenz-Stromversorgungen entwickelt. “Das System ermöglicht den Herstellern von Mikrochips stabilere Plasmaprozesse, senkt somit die Produktionskosten und steigert die Chipqualität“, sagt Michael Ehinger, bei TRUMPF verantwortlich für den Vertrieb von Elektronik-Lösungen für die Halbleiterindustrie. 

Energieeffiziente Chipfertigung
Die modulare Plattform bietet Leistungsstufen von 2,5 bis 10 kW und lässt sich flexibel in bestehende Tools integrieren. Anwender können auch ältere Tools problemlos damit aufrüsten. Gleichzeitig profitieren sie von einer verbesserten Energieeffizienz. Die neue Generation der TruPlasma RF Series G3 verbraucht 20 Prozent weniger Strom und erzeugt weniger Abwärme. Das senkt Betriebskosten und schont die Umwelt.

Echtzeit-Überwachung steigert Qualität
Anwender können mit der TruPlasma RF Series G3 effizienter Chips herstellen und senken damit ihre Produktionskosten. Das System misst zum Beispiel beim Plasmaätzen kontinuierlich die Reaktion des Plasmas und passt die Energie in Echtzeit an. Das sorgt für stabile Fertigungsprozesse und eine gleichmäßige Schichtqualität über den gesamten Wafer. Über die integrierte, browserbasierte Benutzeroberfläche lassen sich während der Qualifikation der Anlage einfach und effizient sämtliche Prozessparameter überwachen und modifizieren, ohne zusätzliche Software installieren zu müssen.

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